一微米的精度

　　□本报记者 赵同增 尹江勇

　　2月20日下午，在位于新乡市红旗区新东产业集聚区的百合光电有限公司，记者看到，这家中小企业里有不少“黑科技”。

　　太阳光模拟系统，让人即使身处暗室，也能尽情享受“日光浴”;裸眼3D悬浮成像技术，让珍贵的文物“走出”展柜跃然眼前，极具视觉冲击力;深紫外辐照模拟设备，能模拟太空光照环境，可应用于制造卫星的材料筛选环节……

　　“这些，只是我们研发路上的‘副产品’!”百合光电负责人、英国南威尔士大学光电工程学博士张博说，在研发光刻光源的过程中，该企业掌握了高精度的光学元件加工技术，实现了微米级别光刻光源系统的国产化量产，产品品质达到了国际领先水平，“捎带”着生产出一系列“黑科技”产品。

　　光刻机是半导体产业中最关键的设备，而光刻光源是光刻机的核心部件。以前，国内生产用的微米级光刻机光源全部依赖进口，使用的是高压汞灯光源，不仅高耗能、高污染，寿命也很短暂，通常情况下使用1000个小时左右就要报废。

　　为助力半导体装备产业实现国产化，不再被光刻光源“卡脖子”，百合光电每年拿出企业年产值的20%~25%作为科研经费，建成河南省特种光源国际联合实验室，和西安交通大学、中科院长春光学精密机械与物理研究所等高校及科研院所共建联合实验室，开始自主研发。

　　2018年，百合光电成功研发出光刻光源，线条可以达到1微米的精度，并且很快实现了量产，替代了进口产品。该产品是紫外LED光源，低能耗、无污染，寿命可达3万小时，是进口光源寿命的30倍，但综合成本不足进口光源的1/3。

　　从无到有只是第一步，百合光电在提高光刻光源精度上继续发力，不断取得新成果，产品被国内半导体装备生产企业所青睐。中科院牵头的国产光刻机重大项目，采用的是百合光电提供的光源模组;作为国产光刻机民企“龙头”的大族激光，选用了百合光电生产的整套曝光系统;前几天正式成为中芯国际光学元器件的战略供应商……

　　拥有核心技术，才能做大做强，据介绍，近5年来，百合光电的产值年均增长20%。“百合光电将用更高精度的光刻光源，全力为国产半导体装备产业化‘照明’!”张博说。